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小型ECR 微波等離子體MBE 反應器

小型ECR 微波等離子體MBE 反應器
供應商參考報價:面議
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· 成都紐曼和瑞微波技術有限公司 [四川省] 加為商業伙伴
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所在城市: 四川省 成都
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HMPR-202 小型ECR 微波等離子體MBE 反應器

技術特點

   HMPR-202小型ECR反應器專為分子束外延應用(MBE)而設計。它具有高穩定、高密度、低損耗、低溫及低壓操作等特點。

   可廣泛用于貴重材料包括GaNSiC等的表面沉積。

   UHV結構,易于安裝到現有的MBE系統上。

   穩定可靠的真空腔。

● 低氣壓、高密度及低能量的離子源。

 

技術參數

工作頻率:            2450 ± 50MHz

輸入功率:            0~200 W

  接口類型:            L16 N, 50Ω

材料:                不銹鋼, UHV結構

外形尺寸:            φ50 x 帶φ86一體法蘭

冷卻水:              /min

氣體接口:            Y, VCR裝置

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  求購產品名: 熱門供應: 干燥機 粉碎機 混合機
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