一、任氏巨源微波等離子體化學氣相沉積爐應用：該款具有高電離度、高電子溫度和電子密度、適用壓強范圍寬、無內部電極污染等特點，微波等離子體在材料表面處理、金剛石薄膜制備、化學氣相沉積、刻蝕以及甲烷轉化制氫、長余輝發光材料、陶瓷燒結、碳納米管修飾[3]、納米粉體合成、處理水污染等領域有廣泛應用。
二、任氏巨源微波等離子體化學氣相沉積爐產品特點：
1. 垂直反應器的設計可使等離子密度高；對稱的微波發生裝置，使產生的等離子場環境更均勻。
2. 微波等離子體氣相沉積爐的諧振腔內沒有內部電極,可以避免電極放電所產生的污染,而且,它的運行氣壓范圍比較寬,所產生等離子體密度高、區域大,穩定度高,且不與真空器壁接觸,從而避免了器壁對薄膜的污染。
三、任氏巨源微波等離子體化學氣相沉積爐技術參數：
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型號/model
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WBMW-DLZ3
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可加熱材料
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非易燃易爆的任何材料
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微波頻率
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2.45GHZ±50MHz
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加熱方式
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純微波加熱
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射頻功率/KW
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3 (功率可調)
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工作溫度/℃
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1200
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長期工作溫度/℃
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≤1100
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溫度測試元件
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微波場專用傳感器/紅外測溫可選
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控溫精度/℃
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±2（微波場專用傳感器）
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石英管尺寸(外徑/內經X長度)/mm
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φ102/φ92x1000
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真空系統配置（可選）
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簡單機械泵抽真空和不銹鋼法蘭；
10-1Pa真空機械泵及真空計；
10-2Pa真空機械泵、擴散泵及真空計；
10-3Pa真空機械泵、分子泵及真空計；
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升溫速率(標配)
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0～1000℃/min可任意設定，可編程、分段加熱
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外型尺寸(長x寬x高)/mm
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1000´750´1830
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微波泄漏量/ mw/cm2
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≤0.4
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提供相關配件
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防護 手套×1、中文說明書×1
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保質期
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整機免費保修1年
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會員服務 
供應商參考報價：面議
