技術(shù)特點(diǎn)及用途
● 系統(tǒng)采用HMG，10kW/2450MHz高穩(wěn)定程控微波功率源。運(yùn)用完善的線路安全閉鎖控制系統(tǒng)，使該系統(tǒng)工作壽命長(zhǎng)，電氣性能優(yōu)良，安全可靠，操作簡(jiǎn)單方便。
● 微波傳輸系統(tǒng)由高性能大功率微波環(huán)行器，銷釘調(diào)配器，帶反射波取樣的水負(fù)載以及外部連接波導(dǎo)組成。它確保反射波對(duì)磁控管的良好隔離，并能方便地調(diào)節(jié)***佳匹配，達(dá)到微波功率的***佳傳輸。
● 采用新型大容積橢球型微波反應(yīng)腔可在很寬的運(yùn)行范圍內(nèi)把微波功率耦合給等離子體，在其焦點(diǎn)處產(chǎn)生高密度、高電離度、大面積均勻穩(wěn)定的微波放電。
● 系統(tǒng)主要用途： 1）金剛石等多種薄膜的化學(xué)汽相沉積的研究和中試加工；2）基片的刻蝕和灰化；3）作為高密度、寬束離子源；4）低溫氧化物的生長(zhǎng)；5）等離子體表面處理和其它實(shí)驗(yàn)加工。
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技術(shù)參數(shù)
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產(chǎn)品型號(hào)： HMPD
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微波源： HMG
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工作頻率： 2450±50MHz
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輸出功率： 0.5 ~ 10kW 連續(xù)可調(diào)
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功率穩(wěn)定度： 優(yōu)于±1%
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輸出波導(dǎo)接口： BJ-26 帶FD-26標(biāo)準(zhǔn)法蘭
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輸入電源： 380V/50Hz±5% 三相四線
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冷卻水流量： /min
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微波反應(yīng)腔 400x600大容積橢球腔
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微波放電腔： 多端口，帶雙層水冷
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3）真空系統(tǒng)： 真空系統(tǒng)： /min分子泵和旁路機(jī)組，中氣壓真空測(cè)控
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氣路系統(tǒng)： 4路MFC控制
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樣品支架系統(tǒng)： 基板直徑φ，軸向調(diào)節(jié)距離：0～
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直流偏壓源： V=300V I=100mA
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基片測(cè)溫： K型熱偶，測(cè)溫范圍0~
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會(huì)員服務(wù) 
供應(yīng)商參考報(bào)價(jià)：面議
