技術(shù)特點(diǎn)
● 系統(tǒng)采用HMEP，1kW/2450MHz高穩(wěn)定程控微波功率源。運(yùn)用完善的線路安全閉鎖控制系統(tǒng)，使該系統(tǒng)工作壽命長(zhǎng)，電氣性能優(yōu)良，安全可靠，操作簡(jiǎn)單方便。
● 微波傳輸系統(tǒng)由高性能微波環(huán)行器，銷釘調(diào)配器，帶反射波取樣的水負(fù)載以及外部連接波導(dǎo)組成。它確保反射波對(duì)磁控管的良好隔離，并能方便地調(diào)節(jié)***佳匹配，達(dá)到微波功率的***佳傳輸。
● 圓柱形微波反應(yīng)腔內(nèi)設(shè)多極永磁ECR系統(tǒng)，可在很寬的運(yùn)行范圍內(nèi)把微波功率耦合給等離子體，在等離子體放電室中產(chǎn)生高密度、高電離度、大面積均勻穩(wěn)定的微波放電。為確保穩(wěn)定工作, 腔壁采用雙層水冷。
● 多端口等離子體放電腔帶6～10個(gè)端口，是雙層水冷結(jié)構(gòu)的大容積放電腔。
● 系統(tǒng)主要用途： 1）金剛石等多種薄膜的化學(xué)汽相沉積的研究和中試加工；2）基片的刻蝕和灰化；3）作為高密度、寬束離子源；4）低溫氧化物的生長(zhǎng)；5）等離子體表面處理和其它實(shí)驗(yàn)加工。
|
技術(shù)參數(shù)
|
|
工作頻率： 2450±50MHz
|
|
輸出功率： 0.1 ~ 1kW 連續(xù)可調(diào)
|
|
功率穩(wěn)定度： 優(yōu)于±1%（在額定功率電平）
|
|
輸出波導(dǎo)接口： BJ-26 帶FD-26標(biāo)準(zhǔn)法蘭
|
|
輸入電源： 380V±10% 三相四線
|
|
冷卻水流量： > /min
|
|
系統(tǒng)駐波系數(shù)： VSWR ≤ 1.5
|
|
ECR工作磁場(chǎng)： >875GS
|
|
磁場(chǎng)電源： 50V
|
|
真空系統(tǒng)： /min 渦輪分子泵
|
|
氣路系統(tǒng)： 四路MFC量程（可按用戶要求選配）
|
會(huì)員服務(wù) 
供應(yīng)商參考報(bào)價(jià)：面議
