技術特點及用途

該系統是根據目前***先進的微波結構理念，設計和研制的一套多用途、高穩定中等壓強微波等離子體綜合實驗和加工設備。它具有工作容積大、性能先進、結構獨特，使用方便、安全可靠、外形美觀，特別適合應用于金剛石、類金剛石薄膜等多種材料的化學汽相沉積（CVD）制備等高新科技領域。

系統選用10套1kW高穩定程控微波功率源（10kW微波功率源）。內部單片機提供方便程控，采用了先進的磁控管燈絲降壓跟蹤技術，無電容電感濾波的高精度電壓反饋調整穩定技術，磁控管水冷技術，以及完善的線路安全閉鎖控制系統，使其工作壽命長，電氣性能優良，安全可靠，操作簡單方便。

本系統采用***新研制的具有特殊結構的微波反應腔和多管全方位分布饋能結構，以及專門設計的微波抑制段，并配以大容積石英放電腔。使微波功率集中，放電均勻，并能充滿整個放電腔，從而達到快速大面積沉積薄膜的目的。

采用專門設計的真空管路，并配以直聯式機械泵前級抽氣，以及薄膜真空測控系統。使系統具備有從大氣到1×10-1Pa的中低壓強和10K~100Kpa的測量范圍，方便控制和讀數。

采用三路氣體供給和控制系統，內置于設備機柜中，氣路短、緊湊、控制調節方便。

系統采用緊湊簡潔的主體結構，以及獨立的控制單元。使整套設備外形美觀，操作簡便可靠。