HMPS-2010K大容積矩形腔微波等離子體系統

   系統將微波源，微波傳輸系統，真空和測量系統，兩路氣體質量流量控制系統以及總體電氣控制系統等各部分有機地組合成的一套完整的設備，它具有性能先進、功能完善、結構合理，使用方便、安全可靠、外形美觀，特別適合應用于多種微波等離子體綜合實驗和加工等高新科技領域。

系統組成和主要特點：

• 系統選用我們研制成功的新一代HMG，1Kw/2450MHz高穩定計算機程控微波功率源，其微波功率0.2 ~ 1kW連續可調，穩定度優于±2%，控制性能好，內部單片機提供方便手動程控，也帶RS-232標準串行接口與計算機連接，實現屏幕菜單式程序控制，由于采用了先進的磁控管燈絲降壓跟蹤技術，無電容電感濾波的高精度電壓反饋調整穩定技術以及完善的線路安全閉鎖控制系統，使系統工作壽命長，性能優良，安全可靠，操作簡單方便。
• 系統采用了由高性能微波環行器，電動三銷釘調配器，帶反射波取樣的水負載以及過度等連接波導組成的優良微波傳輸系統（圖-1）。它確保反射波對磁控管的良好隔離，使之穩定工作，又能在等離子體負載大范圍變化時能方便地調節***佳匹配，達到微波功率的***佳傳輸，并通過反射波取樣，以數字顯示反射功率大小和實時工作狀態。
• 多端口矩形微波等離子體放電腔，本系統采用了5個端口，由優質不銹鋼焊接而成的水冷結構的大容積放電腔，它與長的開槽波導連成一體，通過一塊高品質石囪板保持微波傳輸和真空密封，該放電腔具有以下功能端口：
  1、在放電腔右側面開設φ園形旋轉門式進出料窗口，可方便放入大直徑的基片樣品，又帶石囪玻璃和網狀微波屏蔽窗口，工作時清楚觀察腔內放電工作情況。
  2、在放電腔中部前后設置2個φ帶石囪玻璃和網狀微波屏蔽的備用窗口,可供基片表面觀測和其它測量需要時的標準接口.
  3、在放電腔底部中間設置一個CF-35標準端口與真空泵和真空系統相連結。
  4、在放電腔后部對稱設置2個CF-35標準端口供測溫和等離子體診斷接口。
  5、在放電腔左側面設計標準接口與供氣和氣體質量流量控制系統相連接。
•  真空獲得和測控系統，系統選用抽速為 / min的直連式高性能機械泵和電磁閥，其極限 真空 6×10-2 Pa，  系統備有中低壓強電阻（大氣 ~ 1x10-1Pa）和壓（100Pa~100kPa）兩套真空計，測量儀表置于機柜之中, 方便真空和氣體流量的控制和讀數。
• 氣體質量流量控制系統，采用兩路氣體質量流量控制系統示于（圖–1）內置于設備機柜中，氣路短、緊湊、通過角閥和針閥控制調節十分方便。 
• 系統還設計了功能齊全，保護良好的總體電氣控制系統，一起集成于一臺機柜中，它具有性能先進、功能完善、結構合理，使用方便、安全可靠、外形美觀。