微波真空干燥機由微波發生器，真空干燥腔、微波饋入方式，高壓變壓器組，傳動系統，微波泄漏扼流門，物料轉盤，真空機組冷凝器和電子控制系統整體結構框架，微波真空干燥腔體，外履板，門及物料接觸部分為不銹鋼制造，微波抽真空干燥機具有干燥效率高，產品質量好，加熱速度快，干燥效率高，加工成本低等。這種技術很適合于熱敏性食品的深加工，各種不同物料干燥，如多糖類、高淀粉類、多油類物料等，微波低溫真空干燥機具有干燥 產量高、質量好、加工成本低、便于控制等。
微波真空干燥機采用PLC控制系統，自動控溫系統，微波密度系統，自動報警系統，傳輸變頻調速系統，物料控制系統，微波線性可調功率控制系統，遠紅外測溫，物料運行自動監測，功率，時間設置控制系統。微波能在真空條件下為負壓，微波加熱物料可使物體內部水分在低溫狀態下蒸發，在低溫低壓下干燥時氧含量低，被干燥物料氧化反應減弱變緩，從而保 證了物料的風味，外觀和色澤，微波直接作用于物料，使其里外同時被加熱，無須通過對流或傳導來傳遞熱量，所以加熱速度快，效率高，溫度控制容易。在當真空度小于-0.08MPA時，水的沸點降到30-40℃。在真空狀態下，在低溫狀態干燥物料整體受熱均勻烘干脫水特性。